1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

半导体设备.pdfVIP

  • 7
  • 0
  • 约2.09万字
  • 约 19页
  • 2023-06-02 发布于四川
  • 举报

半导体设备.pdf

    本申请实施例涉及半导体领域，提供一种半导体设备，包括：具有适于锁紧开口部的锁紧装置的管道和具有控制阀和开口部的容纳装置；感应装置用于获取容纳装置中存储介质的余量；传送装置用于使容纳装置沿容纳装置延伸方向移动和沿垂直于容纳装置延伸方向的方向移动至预设位置；锁紧驱动装置与锁紧装置固定连接，若容纳装置到达预设位置，则锁紧驱动装置驱动锁紧装置以使锁紧装置锁紧开口部，若存储介质的余量小于预设值，锁紧驱动装置驱动锁紧装置以使锁紧装置与开口部分离；驱动控制装置，用于判断存储介质的余量是否小于预设值，并生成驱动

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115799105 A (43)申请公布日 2023.03.14 (21)申请号 202111062404.X (22)申请日 2021.09.10 (71)申请人 长鑫存储技术有限公司 地址 230

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >