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本发明涉及的一种网状射频PECVD电极结构，它包括网状电极板（1）本体，所述网状电极板（1）采用9*12的网框结构，在横向每隔四个网格设置一个RF功率馈入点（2），纵向每隔三个网格设置一个RF功率馈入点（2）。所述网状电极板（1）的长度为1.95m，宽度为1.60m。所述网状电极板（1）的内网框直径为5cm，外网框直径为7cm。本发明使用网状的电极结构，同时解决射频PECVD工艺腔的边缘效应和电势驻波效应对电磁场均匀性的影响，改善非晶硅的镀膜效果，提高了太阳能电池的转换效率和产品良率，同时稳定的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112575319 A
(43)申请公布日 2021.03.30
(21)申请号 202110081117.7
(22)申请日 2021.01.21
(71)申请人 江苏爱康能源研究院有限公司
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