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一种窄线宽垂直腔面发射激光器及其制备方法.pdfVIP

一种窄线宽垂直腔面发射激光器及其制备方法.pdf

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    本发明提供一种窄线宽垂直腔面发射激光器及其制备方法，包括：光栅微腔和垂直腔面发射激光器，所述光栅微腔生长在所述垂直腔面发射激光器的谐振腔之上，且，所述光栅微腔和所述谐振腔相互耦合。本发明提供的一种窄线宽垂直腔面发射激光器及其制备方法，通过将光栅微腔生长在传统的垂直腔面发射激光器上，光栅微腔和谐振腔共同对激光器内部光场进行调制，只有同时满足光栅微腔和谐振腔两个谐振条件的波才能在激光器内部形成稳定的驻波，从而达到压窄线宽的效果；且不需要外置光反馈结构，从而增加了激光器的可靠性，易于与其它器件集成。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112636173 B (45)授权公告日 2022.08.12 (21)申请号 202011460730.1 (56)对比文件

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