一种耐高温正性光刻胶.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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一种耐高温正性光刻胶.pdf

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本发明公开了一种耐高温正性光刻胶，其原料按重量份包括：线性酚醛树脂6‑8份、改性酚醛树脂8‑10份、光敏剂4‑6份、溶剂80‑90份；其中，在改性酚醛树脂中的制备过程中，调节全氟辛基三乙氧基硅烷的乙醇水溶液的pH＝5‑6，水解，干燥得到低聚物；将低聚物与酚醛树脂溶液混匀，进行反应，脱除溶剂得到改性酚醛树脂。本发明通过各物质相互配合，在保持较好分辨率同时提高本发明的耐高温性能。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112631076 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011536975.8 (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人阜阳申邦新材料技术有限公司