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2023-06-03 发布于四川
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本发明涉及一种MOCVD装置，包括气流分布调节机构，气流分布调节机构包括：第一板，第一板包括由半径划分的多个第一区域和第二区域；第一区域内设置至少一个第一通风孔，第二区域内设置至少一个第二通风孔；由第一板中心径向向外，第一区域的通风面积逐渐增大，第二区域的通风面积逐渐减小；第二板，第二板包括第三通风孔和挡片，第二板相对于第一板在第一位置、第二位置之间转动；在第一位置，第三通风孔与第一通风孔连通，挡片挡住第二通风孔；在第二位置，第三通风孔与第二通风孔连通，挡片挡住第一通风孔。本发明的结构简单，能够

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112609239 A (43)申请公布日 2021.04.06 (21)申请号 202011605274.5 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人北京中科优唯科技有限公司

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