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含氟气的气体的供给方法和供给设备.pdfVIP

含氟气的气体的供给方法和供给设备.pdf

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    提供一种含氟气的气体的供给方法，其不会使含氟气的气体的供给设备的装置结构变复杂，并且不会降低含氟气的气体的氟气浓度。实行封闭工序，以压力低于填充容器(2)内的气压的方式向配管(4)中的容器阀(3)与压力调整器(7)之间的部分导入第2含氟气的气体，该第2含氟气的气体的氟气浓度相对于第1含氟气的气体的氟气体浓度在±10％的范围内。封闭工序之后，将缓冲罐(9)设为打开状态，从填充容器(2)向配管(4)中的容器阀(3)与压力调整器(7)之间的部分导入第1含氟气的气体，然后将压力调整器(7)设为打开状态，

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112639352 B (45)授权公告日 2023.04.07 (21)申请号 201980056969.1 (73)专利权人 昭和电工株式会社

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