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提供一种含氟气的气体的供给方法,其不会使含氟气的气体的供给设备的装置结构变复杂,并且不会降低含氟气的气体的氟气浓度。实行封闭工序,以压力低于填充容器(2)内的气压的方式向配管(4)中的容器阀(3)与压力调整器(7)之间的部分导入第2含氟气的气体,该第2含氟气的气体的氟气浓度相对于第1含氟气的气体的氟气体浓度在±10%的范围内。封闭工序之后,将缓冲罐(9)设为打开状态,从填充容器(2)向配管(4)中的容器阀(3)与压力调整器(7)之间的部分导入第1含氟气的气体,然后将压力调整器(7)设为打开状态,
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112639352 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 201980056969.1 (73)专利权人 昭和电工株式会社
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