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一种氮化镓薄膜的制备装置.pdfVIP

一种氮化镓薄膜的制备装置.pdf

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    本发明公开了一种氮化镓薄膜的制备装置，具体涉及氮化镓薄膜制备技术领域，包括制备仓和蒸发室，所述蒸发室固定连接在制备仓内部的底端，所述蒸发室的内部固定连接有石英坩埚，所述石英坩埚的内部固定连接有电热丝，所述蒸发室的顶端固定连接有离化腔，所述制备仓的外侧壁上设置有保温结构。本发明通过设置有空腔、外壳、连接杆、螺母、通孔和保温岩棉，在使用时，利用螺母和通孔将外壳固定在制备仓的外部，此时制备仓和外壳之间形成一个空腔，然后在空腔内部填充上保温岩棉，利用保温岩棉的隔热性能，这样可以避免制备仓内部热量流失较快

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112626464 B (45)授权公告日 2022.03.29 (21)申请号 202011419636.1 (51)Int.Cl.

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