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用于检测动态压力变化的集成光学传感器及其制造方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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用于检测动态压力变化的集成光学传感器及其制造方法.pdf

    一种用于检测动态压力变化的集成光学传感器(2)包括微机电系统MEMS管芯(10)，其具有MEMS膜片(12)，该MEMS膜片具有第一侧(13)和第二侧(14)，其中第一侧暴露于动态压力变化。传感器(2)还包括专用集成电路ASIC管芯(11)，其具有评估电路，该评估电路被配置为检测MEMS膜片(12)的偏转，尤其是MEMS膜片(12)的第二侧(14)的偏转。相对于ASIC管芯(11)来布置MEMS管芯(10)，使得在膜片(12)的第二侧(14)与ASIC管芯(11)的第一表面(19)之间形成具有间

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113383560 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 201980060239.9 (74)专利代理机构 北京柏杉松知识产权代理事

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