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本发明公开了一种基于数据驱动的精密运动台静态解耦矩阵校正方法，所述方法包括如下步骤：一：基于机械设计参数得到初始静态解耦矩阵；二：由轨迹生成器生成精密运动台各自由度运动的参考信号；三：针对精密运动台各自由度的名义模型，设计各自由度的控制器；四：将参考信号，控制器，初始静态解耦矩阵K作用到精密运动台；五：测量精密运动台的实际位置信号，当前施加到执行器的控制量；六：将测量数据通过滤波器，得到虚拟参考输入信号；七：将虚拟参考输入信号与精密运动台的实际位置信号作差，得到虚拟误差信号；八：最小化目标函数，
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115167284 A
(43)申请公布日 2022.10.11
(21)申请号 202210927833.7
(22)申请日 2022.08.03
(71)申请人 哈尔滨工业大学
地址 150001
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