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一种磁性隧道结覆盖层及其制作工艺.pdfVIP

一种磁性隧道结覆盖层及其制作工艺.pdf

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    本发明公开了一种磁性隧道结覆盖层及其制作工艺，磁性隧道结的覆盖层结构由下而上依序为覆盖层(I)，覆盖层(II)，覆盖层(III)和覆盖层(IV)叠加的结构所组成；覆盖层(I)为自由层提供一个额外的垂直各向异性来源，从而增加其热稳定性；覆盖层(II)降低所述磁性隧道结的阻尼系数，从而降低其临界电流，同时，其制作工艺有利增强自由层的热稳定性；覆盖层(III)在于实现覆盖层(II)和覆盖层(IV)之间的过渡；覆盖层(IV)作为后续的刻蚀阻挡层。如此磁性隧道结可以提供较高的热稳定性，同时也可以使临界电流

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112635655 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 20191

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