一种耐刻蚀易粘附正性光刻胶.pdfVIP

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2023-06-03 发布于四川
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一种耐刻蚀易粘附正性光刻胶.pdf

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本发明公开了一种耐刻蚀易粘附正性光刻胶，其原料按重量份包括：成膜树脂15‑20份、光敏剂6‑8份、增粘剂5‑7份、流平剂0.5‑1份、溶剂75‑85份；其中，成膜树脂为线性酚醛树脂和改性酚醛树脂；在改性酚醛树脂中的制备过程中，取酚类化合物、甲醛和酸性催化剂混匀，然后升温至45‑50℃，加入十二氟庚基丙基三甲氧基硅烷，继续升温至80‑85℃，保温反应3‑3.5h，然后调节pH至中性，脱水得到改性酚醛树脂。本发明通过各物质相互配合，使得本发明具有良好的耐刻蚀性、粘附力；并且具有较好的分辨率。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112631077 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011536979.6 (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人阜阳