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基于结构超滑的肖特基微发电机及其制备方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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基于结构超滑的肖特基微发电机及其制备方法.pdf

    本发明提供了一种基于结构超滑的肖特基微发电机及其制备方法，包括导电层、半导体层和第一金属电极层，所述导电层和所述半导体层之间形成超滑接触和肖特基接触，所述第一金属电极层与所述半导体层形成欧姆接触，所述导体层与所述半导体层相对运动并输出电信号。利用结构超滑的技术，设置第一金属电极层将半导体层中的非平衡载流子导出，在导电层和半导体层之间发生相对滑动时，能够产生非平衡载流子的移动，达到输出稳定和高密度的直流电信号的效果，使得导电层和半导体层在相对滑动时具有极低摩擦和无磨损的状态，能够实现稳定和高密度的

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112636629 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011611712.9 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人 深圳清华大学研究院 地

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