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2023-06-03 发布于四川
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一种可定量入料的用于多晶硅生产的反应炉.pdf

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本发明涉及一种可定量入料的用于多晶硅生产的反应炉，包括炉体、入料箱、底板、定量机构和密封清理机构，所述清理机构设置在定量机构上，该可定量入料的用于多晶硅生产的反应炉，通过定量机构实现硅石的定量入料，通过密封清理机构对限位杆进行清理，同时对限位杆和底座之间的细缝进行密封，避免硅石卡在细缝内，使得底板移动的更加稳定，与现有的定量机构相比，该机构采用纯机械结构，避免了电子秤等电子产品的使用，提高了装置的稳定性和使用寿命，与现有的密封清理机构相比，该机构不仅对底板的移动进行限位，同时对限位杆进行清洁，使

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112624120 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202110083987.8 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人王凤萍地址 028

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