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本发明公开了一种纳米FeCx材料的制备方法，属于纳米材料领域。将衬底置于反应腔，在真空下，以脉冲形式向反应腔中通入气相Fe前驱体，得到沉积有Fe前驱体的衬底；然后充入惰性气体进行吹扫后，将气相碳源以脉冲形式通入反应腔，与沉积在衬底上的Fe前驱体进行反应，得到含单原子层FeCx纳米材料的衬底；再向充入惰性气体清洗；重复上述ALD生长循环多次，即可得到生长FeCx纳米材料的衬底；其中，所述碳源为甲醇、乙醇、丙醇、或丁醇中的一种或几种；所述Fe前驱体为具有式1所示结构的化合物。本发明沉积速率高，沉积速
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112626491 B
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202011471267.0 (56)对比文件
(22)申请日 202
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