一种用于真空镀膜膜厚测试的支架.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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本发明涉及真空镀膜设备领域,尤其涉及一种用于真空镀膜膜厚测试的支架,包括支撑圈,所述支撑圈的外周均匀分布有用于调节样品位置的位置调节机构,所述位置调节机构的上下端均设置有用于夹持样品的样品夹持机构,所述支撑杆相靠近的一端均固定连接在吊杆的下端外周,本发明通过位置调节机构调节样品的位置,不仅节省了测试成本,而且使测试结果更加准确,且通过样品夹持机构内的限位组件和连接组件以及调节组件,实现了在母板的样品切割尺寸出现误差时,仍然能将母板的样品夹紧,并且夹持时具有一定的缓冲效果,避免直接对母板的样品进行

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115533792 A (43)申请公布日 2022.12.30 (21)申请号 202211544312.X (22)申请日 2022.12.04 (71)申请人 徐州市检验检测中心 地址 2210

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