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气浮卡盘.pdfVIP

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    本申请实施例提供了一种气浮卡盘。该气浮卡盘包括喷嘴部和气体通道部，其中，喷嘴部设置有多个支撑力喷嘴，用于在喷嘴部的顶部表面上形成气垫；气体通道部包括向多个支撑力喷嘴传输第一气体以提供支撑力的第一气体通道。本申请实施例能够实现由第一气体通道向多个支撑力喷嘴传输第一气体，由第一气体提供支撑力，通过调节第一气体通道中第一气体的气流以在喷嘴部的顶部表面上形成气垫，以便于使气垫所支撑如晶圆之类的支撑物稳定悬浮在气垫远离喷嘴部的顶部表面的一侧。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112635386 A (43)申请公布日 2021.04.09 (21)申请号 202011569044.8 (22)申请日 2020.12.25 (30)优先权数据 62/953,69

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