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本发明提供能够同时测量多个压力的传感器元件。传感器元件(1)具备：第1压力与第2压力的差压测量用的膜片(42)；第2压力的绝对压力测量用或者表压测量用的膜片(43)；将第1压力传递至膜片(42)的第1压力导入通路(贯通孔(21、31、47、52)、槽(53)以及凹陷部(50))；将第2压力传递至膜片(42、43)的第2压力导入通路(贯通孔(20、30、46)、槽(32、54)以及凹陷部(40、51))；以及液量调整室(凹陷部(60))，其使封入于第1压力导入通路的压力传递介质的量与封入于第2压力
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112649141 A
(43)申请公布日 2021.04.13
(21)申请号 202011061571.8 G01L 13/06 (2006.01)
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