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本公开内容涉及一种有助于基座的平面度测量的柔性支撑件。柔性支撑件具有第一支撑块，具有大体上平面的上表面和下表面，下表面具有形成在所述下表面中的第一孔。柔性支撑件进一步具有第二支撑块，具有大体上平面的下表面和上表面，上表面具有形成在所述上表面中的第二孔。柔性支撑件进一步具有支撑销，经配置以可容纳于第一孔和第二孔中，支撑销经配置以在通过支撑销的变形而在允许第一支撑块相对于第二支撑块的受限移动的同时，保持第一支撑块和第二支撑块于分隔关系中。柔性支撑件进一步具有导件，设置于第一支撑块与第二支撑块之间，导
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112640076 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 201980056249.5 (74)专利代理机构 北京律诚同业知识产权代理
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