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本发明公开了一种晶圆加工用硅圆片切割设备，其结构包括切割主机、视窗、维修箱、控制面板、警示灯，切割主机前表面嵌固安装有视窗，并且切割主机下端设有维修箱，将晶圆放置在外框内部，夹片对晶圆的两侧进行夹紧，通过导向块对金刚石线进行导向，防止金刚石线在晶圆底部发生打滑，同时在进行切割的过程中，伸缩软管起到一定的减震作用，避免晶圆切割口发生偏移，切割过程中，越靠近晶圆的中部，金刚石线与晶圆内部产生的摩擦牵引力越大，金刚石线对滑动盘施加一定的拉力，使得定位转轴进行转动，这时第一压杆和第二压杆在固定管套内部进
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112622080 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011492930.5
(22)申请日 2020.12.16
(71)申请人 林斌发
地址 230
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