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一种复合导电薄膜及其制备方法以及薄膜晶体管，复合导电薄膜由导电氧化物薄膜和纳米导电材料层堆叠构成，导电氧化物薄膜位于纳米导电材料层之下；复合导电薄膜的制备工艺如下：步骤S1，在基底上用喷墨打印方式打印导电氧化物墨水，并进行第一次退火处理，第一次退火处理后形成导电氧化物薄膜；步骤S2，在导电氧化物薄膜上用喷墨打印方式打印纳米导电材料层，并进行第二次退火处理，第二次退火处理后形成复合导电薄膜。复合导电薄膜能够作为薄膜晶体管的源极或者漏极。该复合导电薄膜化学稳定性好，电导率高，纳米导电材料的扩散度小且
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112635102 A
(43)申请公布日 2021.04.09
(21)申请号 202011405694.9 H01L 29/417 (2006.01)
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