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本发明公开超高亮度真空紫外灯，包括石英保护件和具有依次连通的过渡接头、石英短管和长管、小直径石英管的紫外灯本体；小直径石英管的孔径小于石英短管和长管的孔径；过渡接头的金属管端能接入气体，石英长管是气体被激发到等离子体态的起始场所；石英长管的自由端开有孔，该孔与石英长管的内部通道连通；石英保护件与紫外灯本体相连，石英长管的自由端伸入石英保护件内。紫外灯本体中小直径石英管的孔径小于石英短、长管的孔径，形成独特的流导梯度，等离子体态气体会在流经石英长管底部的小孔后被汇聚，且灯中本有气压上高下低的特征，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112635294 B
(45)授权公告日 2022.04.19
(21)申请号 202011524714.4 (56)对比文件
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