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一种烷烃与硅烷反应的氯基SiC-CVD外延制程尾气FTrPSA回收方法.pdfVIP

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  • 2023-06-03 发布于四川
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一种烷烃与硅烷反应的氯基SiC-CVD外延制程尾气FTrPSA回收方法.pdf

    本发明公开了一种烷烃与硅烷反应的氯基SiC‑CVD外延制程尾气FTrPSA回收方法，通过预处理、氯硅烷喷淋吸收、中温变压吸附浓缩、吸附净化、氢气纯化、多级蒸发/压缩/冷凝、氯硅烷中浅冷精馏、丙烷/硅烷分离、硅烷提纯与丙烷精制工序，可从基于烷烃与硅烷反应的SiC‑CVD含氯外延制程尾气高纯度高收率的回收氢气、氯化氢、硅烷、丙烷及/或甲烷，并作为原材料气返回到氯基SiC‑CVD外延制程中循环使用，既实现尾气的全组分回收再利用，又减少了尾气排放，弥补了氯基SiC‑CVD外延制程尾气处理技术的空白。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112642259 A (43)申请公布日 2021.04.13 (21)申请号 202011537626.8 (22)申请日 2020.12.23 (71)申请人 浙江

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