一种混合气体探测装置及系统.pdfVIP

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本发明公开了一种混合气体探测装置及系统,其特征在于,包括:光源、分析腔、微通道以及光学传感芯片,光源用于产生投射光,并向分析腔进行照射;分析腔用于盛放待检测的混合气体;光学传感芯片用于接收穿过分析腔的投射光,检测所述投射光的光谱信息;微通道用于向所述分析腔中通入所述待检测的混合气体,在微通道上设置有针对指定气体的吸附材料,用于对混合气体中的指定气体进行吸附,减缓指定气体通入所述分析腔中的速度。本发明通过微通道的结构设计,在混合气体进入分析腔之前,对一部分气体成分进行吸附,以减缓通入分析腔的速率,

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112683835 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011504881.2 (22)申请日 2020.12.18 (71)申请人 上海集成电路研发中心有限公司

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