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- 2023-06-04 发布于四川
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本发明公开了一种金属电极结构的实现方法，该方法包括：通过金属化方法形成钛铝双层金属，其中钛金属设于底层，位于衬底表面，铝金属设于顶层，位于钛金属表面；涂覆光刻胶，并光刻出掩膜图形；基于单片式湿法喷雾腐蚀系统，使用特定的腐蚀液，控制腐蚀过程的转速、喷淋压力、喷淋区域与喷淋时间等参数，逐层腐蚀铝金属、钛金属，然后再次腐蚀铝金属，使铝金属的侧蚀继续增大，露出底层钛的边界，最终形成底层钛边缘超出顶层铝边缘至少0.1um的电极结构；相比于传统的槽式腐蚀，得到了更好的稳定性、均匀性与形貌；相比于一般的多层金
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112701039 A
(43)申请公布日 2021.04.23
(21)申请号 202011575601.7
(22)申请日 2020.12.28
(71)申请人 中国电子科技集团公司第五十五研
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