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本发明公开了一种芯片检测设备。芯片检测设备包括基座、驱动结构、检测结构和微调结构，驱动结构包括第三底座、移动平台、第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件的壳体位于第三底座上，第二驱动件的壳体位于第一驱动件的输出端上，移动平台位于第二驱动件的输出端上，第三底座能够能够相对基座移动，第一驱动件用于驱动移动平台围绕移动平台的轴线转动，第二驱动件用于改变移动平台相对基座的高度，且移动平台能够相对基座移动；检测结构连接于基座上，且检测结构位于移动平台的上侧，微调结构位于承载板上，微调结构包括探针，承载板位于移
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112687563 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011429297.5
(22)申请日 2020.12.09
(71)申请人 深圳市盛世智能装备有限公司
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