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本发明属于薄膜太阳能溅射靶材领域，公开了一种硒化铟靶材的装模方法和制备方法。包括以下步骤：准备圆柱状结构的包套；装模；将装模完成的包套放入炉内，边加热边通过除气管对包套进行抽真空除气，当包套内真空度达到要求后，停止加热、除气，封闭除气管；将除气完成的包套放入热等静压烧结炉中，进行抽真空、加压、升温烧结、降温及压力回收；出炉，去除包套，得硒化铟靶材。通过本发明制备方法制造出来的硒化铟靶材为单片产品，且一个包套可处理多片产品，去除包套后，只需进行平面磨及外圆加工即可，无需分割，可缩短机加时间，且可减
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115741938 A
(43)申请公布日 2023.03.07
(21)申请号 202211611681.6 C23C 14/06 (2006.01)
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