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本发明属于光刻胶技术领域，公开了一种由异柯楠碱合成的锍鎓盐类光致产酸剂及其制备方法。由异柯楠碱合成的锍鎓盐类光致产酸剂包括阴离子和阳离子，结构如下：其中R1为连接基团，R2包括烃基或含氟烃基，P1、P2和P3相互独立的表示氢或具有1到12个碳原子的任选取代的烷基。其合成步骤为：将异柯楠碱与磺基乙酸盐类化合物经酯化反应或将异柯楠碱经二(三氯甲基)碳酸酯处理与羟基乙磺类化合物反应形成含异柯楠碱结构和磺酸结构的中间体；将所述中间体与卤化锍经离子交换反应，搅拌，反应液经纯化得到含异柯楠碱结构的锍鎓盐类光
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112661755 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011541810.X
(22)申请日 2020.12.23
(71)申请人 上海博栋化学科技有限公司
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