一种氢终端金刚石转化为氟终端金刚石的方法.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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一种氢终端金刚石转化为氟终端金刚石的方法.pdf

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本发明公开了一种氢终端金刚石转化为氟终端金刚石的方法，包括以下步骤：S1、在预处理后的氢终端金刚石衬底的顶面制备源极和漏极，且源极和漏极均与氢终端金刚石衬底形成欧姆接触；S2、在源极和漏极之间的氢终端金刚石衬底的顶面上，沉积有LiF介质层；S3、将氢终端金刚石衬底的顶面上，除去源极、漏极和LiF介质层所覆盖的区域之外，剩余的区域均处理成不导电的氧终端隔离区；S4、在LiF介质层和氧终端隔离区上方接触制备连续的栅极，完成氢终端场效应晶体管的制备；S5、对步骤S4得到的氢终端场效应晶体管加电，则在氢

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112687542 B (45)授权公告日 2022.03.29 (21)申请号 201910986605.5 H01L 29/16 (2006.01)

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