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2023-06-04 发布于四川
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一种PICP干刻下电氦漏检测设备.pdf

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本发明提供一种应用于PICP干刻技术领域的PICP干刻下电氦漏检测设备，所述的PICP干刻下电氦漏检测设备的设备框架(1)上设置检测板定版(3)，起吊部件(2)的起吊部件上组件(6)包括带通孔的上吊具(8)，起吊部件下组件(7)包括设置在设备框架(1)上的固定座(9)，固定座(9)上设置杆件(10)，检测板定版(2)下部安装氦检抽气部件(30)，氦检抽气部件(30)与PICP下电(20)连通，氦检仪与检测板定版(3)连通，本发明的PICP干刻下电氦漏检测设备，能够方便快捷实现PICP下电的氦漏检

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112665803 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202011582939.5 (22)申请日 2020.12.28 (71)申请人芜湖

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