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- 2023-06-04 发布于四川
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在此描述的实施方式一般涉及具有缩减空间的处理腔室，以执行超临界干燥处理或其他相变处理。该腔室包含可移动地设置于第一轨道上的基板支撑件和可移动地设置于第二轨道上的门。基板支撑件和门可经配置以相互独立地移动，且该腔室可经配置以最小化腔室内基板的垂直移动。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116206947 A
(43)申请公布日 2023.06.02
(21)申请号 202211571621.6 (51)Int.Cl .
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