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本发明提供了一种参数化单元及其实现方法,包括:提供参数化单元,所述参数化单元包括至少一个器件,所述器件包括多个膜层结构;根据预设的器件结构确定任一膜层结构待剪切的区域,所述预设的器件结构满足所述参数化单元的最小设计规则;根据所述待剪切的区域调整剪切层的图层设定,以使所述剪切层对所述待剪切的区域进行剪切,从而可以在符合最小设计规则的情况下,有限度开放定义剪切层的设计,进而可以根据需求调整器件的特性,使得器件能够应用于更多不同的应用场景中。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112685987 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202011538554.9 H01L 29/66 (2006.01)
(22)申请日 2020.12
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