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本发明公开了一种晶圆解除吸附的装置及方法，包括：对静电吸附卡盘进行定位的一组升降式pin脚，每个升降式pin脚均通过一套管路连接抽真空装置和充气装置；上升支架，用于分离晶圆和所述静电吸附卡盘；定位校准器安装在上升支架上，用于定位晶圆的中心；调整机构，用于调整上升支架在平行于晶圆的平面内的位置，使上升支架的中心与晶圆的中心在同一竖直线上；控制单元，分别连接抽真空装置、充气装置、定位校准器、调整机构及上升支架。本发明采用可自锁的升降式pin脚增加了静电解除过程中的容错率，减少了晶圆发生偏移后进行De
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112670226 B
(45)授权公告日 2022.07.19
(21)申请号 202011540618.9 (56)对比文件
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