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本发明提供了一种电吸收调制激光器的制作方法，包括：在同一衬底上依次生长缓冲层和有源层，有源层包括第一有源层、作为激光器区有源层的第二有源层和作为波长稳定区有源层的第三有源层；刻蚀掉第一有源层，并对接生长调制器区有源层；在作为激光器区有源层的第二有源层内制作光栅；在调制器区有源层上、作为激光器区有源层的第二有源层上和作为波长稳定区有源层的第三有源层上依次生长包层和接触层；刻蚀部分包层和接触层制作脊型波导；刻蚀掉调制器区与激光器区之间、激光器区与波长稳定区之间的接触层，并注入氦离子形成电隔离沟；制作
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112670823 B
(45)授权公告日 2022.03.11
(21)申请号 202011542742.9 H01S 5/042 (2006.01)
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