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此处公开一种测量方法，更具体地提供叠对计量工具与绕射为主的叠对测量法。工具包括产生入射光的光源，其照射晶圆的材料层中堆叠的叠对目标。工具亦包括感光系统，用于测量自晶圆表面反射的绕射光束特性。在单次照射晶圆且不旋转入射光束的极化状态时，感光系统依据与堆叠的叠对目标相关的叠对程序产生绕射光束的三个分量，且绕射光束具有一或多个极化状态与强度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112687562 A
(43)申请公布日 2021.04.20
(21)申请号 202011109904.X
(22)申请日 2020.10.16
(30)优先权数据
16/657,17
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