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本发明涉及基板处理方法，更详细地说，涉及去除基板的薄膜内杂质及改善薄膜特性的基板处理方法，包括：增压步骤，将腔室内的压力上升至高于常压的第一压力；第一减压步骤，在所述增压步骤之后，将所述腔室内的压力从所述第一压力下降到第二压力；第二减压步骤，在所述第一减压步骤之后，将所述腔室内的压力从所述第二压力下降至低于常压的第三压力。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112670205 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202010952156.5
(22)申请日 2020.09.11
(30)优先权数据
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