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2023-06-04 发布于四川
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一种高精度膜厚测量系统及方法，本发明的膜厚仪、振荡包、编码器、滑环安装于真空腔体外工件架的旋转轴顶部，晶片探头、石英晶体和温度传感器安装于真空腔体内工件架表面，晶片探头、温度传感器信号通过真空馈入法兰引出，工件架的旋转轴带动上述部件水平旋转；所述膜厚仪根据编码器数据选择石英晶体的最佳测试位置，所述膜厚仪根据温度传感器数据对石英晶体频率进行温度校准，所述膜厚仪利用校准后频率准确计算真实膜厚，通过滑环实现膜厚仪与腔体外静态工控机的数据传输。实现旋转镀膜时膜厚的准确测量，有效消除温度影响，确保运动与非

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112680709 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011474312.8 (22)申请日 2020.12.15 (71)申请人光芯薄膜（深圳）有限公司

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