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一种压电衬底、制备方法及电子元器件.pdf

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    本申请提供的一种压电衬底、制备方法及电子元器件，包括：由上至下依次层叠的压电层、低声速层和高声速层，所述低声速层的声速小于所述高声速层的声速；在所述低声速层中制备有散射层，其中，所述散射层包括呈散点分布的微粒，所述散射层中微粒的声速大于所述低声速层的声速。当声波信号遇到低声速层和高声速层界面附近一个个高声速微粒时，会产生较强的散射，而且散射效果与声波信号频率有关，声波信号频率越大，散射作用越强，散射会使声波信号产生损耗，因此散射层可以抑制高频率下的谐振强度，从而解决高频声波信号对目标声波信号的干

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112688658 B (45)授权公告日 2021.11.26 (21)申请号 202011565471.9 (51)Int.Cl.

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