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2023-06-04 发布于四川
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一种光电元器件加工用离子注入装置.pdf

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本发明提供一种光电元器件加工用离子注入装置，涉及光电元器件加工技术领域。该光电元器件加工用离子注入装置，包括工作台，所述工作台的上表面固定连接有密封箱体与真空泵，所述密封箱体与真空泵之间通过管道组件连接，所述工作台的下表面固定连接有安装壳体，所述安装壳体的内部固定安装有伺服电机。本发明，通过主驱动轴带着上安装座、中安装座与下安装座同步转动，当上安装座转动时带着多个离子喷头转动，当中安装座转动时带着多个放置板转动，同时，由于固定齿环与转动齿轮啮合，使得多个放置板在绕着主驱动轴转动的同时，放置板自身

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112670150 A (43)申请公布日 2021.04.16 (21)申请号 202011542394.5 (22)申请日 2020.12.22 (71)申请人马鞍

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