一种防止激光化学气相沉积中沉积气体结晶化的装置和方法.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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一种防止激光化学气相沉积中沉积气体结晶化的装置和方法.pdf

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本发明涉及一种防止激光化学气相沉积中沉积气体结晶化的装置和方法，所述装置包括沉积气体储存容器、反应腔体以及连接两者用于输送沉积气体的管路，沿所述沉积气体的流动方向，所述管路包括至少两个温度流失区域；对应所述温度流失区域，所述装置还设置温度保持装置与第一温度监测装置，所述第一温度监测装置的监测目标温度呈递增趋势。利用所述装置，可以保持所述管路内的沉积气体为持续气化状态，有效地防止了沉积气体在管路内部或反应腔体内的基板上遇冷凝固发生结晶化现象，有效地避免了管路堵塞或基板报废等严重问题，有效地避免了巨

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112680723 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011448030.0 (22)申请日 2020.12.09 (71)申请人苏州科韵激光科技有限公司

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