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本发明提供一种真空泵装置,能够将转子室的内部维持在较高的温度。真空泵装置具备:泵壳(2),该泵壳在内部具有转子室(1);泵转子(5),该泵转子配置在转子室(1)内;旋转轴(7),该旋转轴固定有泵转子(5);电动机(8),该电动机与旋转轴(7)连结;侧罩(10A),该侧罩形成转子室(1)的端面;以及侧加热器(55A),该侧加热器配置在侧罩(10A)内。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112664460 A
(43)申请公布日 2021.04.16
(21)申请号 202011095546.1 F04C 18/16 (2006.01)
(22)申请日 2
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