光泵浦VECSELs设计理论、制备工艺与实验研究.docxVIP

光泵浦VECSELs设计理论、制备工艺与实验研究 一、光泵浦VECSELs设计理论 VECSELs（Vertical External Cavity Surface Emitting Lasers）即垂直外腔面发射激光器，在固体激光器的基础上进一步优化，具有输出功率大，波长范围广，调制容易，光束质量高等特点。 在光泵浦VECSELs的设计中，需要考虑以下几个因素： 1.反射镜的选择：VECSELs的反射镜包括背反射镜和前反射镜，其中背反射镜具有高反射率和宽反射频率范围的特点，前反射镜用于增加储存激发能量的时间，同时还会影响VECSELs的谐振效率和输出功率。 2.半导体材料的选择：光泵浦VECSELs所采用的半导体材料需具备较高的自发发射寿命和载流子寿命，以及较好的热稳定性，通常选择AlGaAs、GaAs、InP等材料。 3.泵浦光源的选择：在泵浦光源的选择上，需选择Pump源能量高、耐久性好、波长适中的激光器，常用Ar光、He-Ne光和Ti:sapphire激光器等泵浦光源。 4.波长和光束质量的控制：光泵浦VECSELs的输出波长需控制在目标波长范围内，同时光束质量需保持良好，以满足应用需求。 光泵浦VECSELs的设计需要通过数值模拟仿真和实验验证的方法，不断验证改进设计，最终得到具备良好性能的VECSELs器件。 二、光泵浦VECSELs制备工艺 在光泵浦VECSELs的制备过程中，需要进行以下步骤： 1.表面处理：将半导体材料制备成平整的基板，并去除杂质、氧化物等异物，保证制备过程的顺利进行。 2.激光沉积：利用激光沉积技术，将半导体材料以原子形式沉积在基板上，形成多层结构，其中包括反射镜、量子阱结构等关键结构。 3.光刻和蚀刻：将其进行光刻或蚀刻，形成具有特定结构的模式，以实现VECSELs的谐振结构。 4.芯片制备：在沉积好的结构上切割成具有一定形状和大小的芯片，进行后续加工。 5.测试与调节：对制备好的VECSELs进行测试与调节，以实现较好的输出功率、波长和光束质量等特性，同时也可以结合数值模拟仿真进行性能指标的评估和优化。 三、光泵浦VECSELs实验研究 1.输出功率与波长特性研究：通过测试不同泵浦光源下的输出功率和波长，研究VECSELs的波长可调性和输出功率与泵浦光源功率、光束面积等参数的关系。 2.光学谐振效应研究：通过测试VECSELs的输出光强度变化和波长变化，研究VECSELs的光学谐振效应，分析其对VECSELs的激光输出特性的影响。 3.温度特性研究：通过测试不同温度下的VECSELs输出功率和波长，研究VECSELs的温度稳定性和温度对其输出特性的影响情况。 4.模式特性研究：通过测试VECSELs的光束质量和输出模式，研究VECSELs的基本模式和多模特性，并进行相关的优化研究。 总之，光泵浦VECSELs的设计和研究是一个复杂而又具有挑战性的过程，需要通过理论和实验结合的方式，不断优化器件结构、制备工艺和测试方法，以实现VECSELs的性能优化和实际应用。