多次反射超快高精度干涉仪及面形测量方法.pdfVIP

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2023-06-04 发布于四川
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多次反射超快高精度干涉仪及面形测量方法.pdf

本发明公开了一种多次反射超快高精度干涉仪及面形测量方法，干涉仪包括短脉冲激光源、光能量调整装置、线偏振片、1/2波片、偏振分光棱镜、第一1/4偏振波片、第二1/4偏振波片、第一参考标准镜、第二参考标准镜、标准镜、偏振器件、分幅相机和控制器，分幅相机、短脉冲激光器均连接至控制器，短脉冲激光源发出的短脉冲激光从光源射出后依次经光能量调整装置、线偏振片和1/2波片后进入偏振分光棱镜，分解成两束光进入测量支路和参考支路。本发明通过使用短脉冲激光在干涉等光程腔体中多次反射振荡的方法增加检测灵敏度，并采用了

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116202442 A (43)申请公布日 2023.06.02 (21)申请号 202310065889.0 (22)申请日 2023.01.14 (71)申请人中国科学院西安光学精密机械研究

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