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本发明公开了一种电催化合成高纯乙硅烷的系统，包括：电催化反应器、缓冲罐、气体压缩装置、氢气分离装置和乙硅烷分离提纯装置；电催化反应器的出口与缓冲罐入口连通；气体压缩装置的两端分别与缓冲罐的出口和氢气分离装置的入口连通；氢气分离装置的顶端出口与缓冲罐的入口连通，氢气分离装置的底端出口与乙硅烷分离提纯装置入口连通，且乙硅烷分离提纯装置的顶端出口与电催化反应器的入口连通；该系统能直接对甲硅烷进行电催化合成乙硅烷，副产物少，效率高，乙硅烷的纯度高达99.998％。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112663074 B
(45)授权公告日 2021.09.28
(21)申请号 202011543942.6 (51)Int.Cl.
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