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2023-06-04 发布于四川
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本发明公开了一种266nm深紫外固体激光器，包括用于提供激光晶体受激辐射的激光电源、用于对激光器进行散热的水冷却系统、1064nm谐振腔、腔内倍频光路和腔外四倍频光路，1064nm谐振腔包括第一平凸透镜、第二平凸透镜、平凸镜、激光晶体、声光调制器和第一反射镜；腔内倍频光路包括LBO二倍频晶体和532nm分光镜；腔外四倍频光路包括第二发射镜、CLBO四倍频晶体和布鲁斯特等腰棱镜；本发明一种266nm深紫外固体激光器通过谐振腔内分离倍频的532nm激光；利用色散原理分离四倍频后产生的266nm激光和

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112688151 A (43)申请公布日 2021.04.20 (21)申请号 202011571371.7 (22)申请日 2020.12.27 (71)申请人罗根激光科技（武汉）有限公司

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