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本发明公开了一种用于恶劣环境水冷壁结焦检测的探针：依次布置的激光发生单元、导光臂组件、光路系统和旋转探头，激光器与光路系统之间布置有传感器阵列；激光发生单元产生的激光由导光臂组件引入光路系统经分束为入射光和参考光；入射光抵达旋转探头后变成发散光束，照射到水冷壁上散射形成物光；旋转探头捕获物光后在传感器阵列形成物光光场；参考光经光路系统在传感器阵列处形成参考光光场，发生干涉产生全息干涉；图案信号接收处理单元，采集全息干涉图案，获得被测水冷壁区域结焦位置及厚度信息。本发明还公开了采用上述探针用于恶劣
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112729120 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202110076701.3
(22)申请日 2021.01.20
(71)申请人 浙江大学
地址 31
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