一种防循环液泄漏的静电吸附盘.pdfVIP

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2023-06-05 发布于四川
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一种防循环液泄漏的静电吸附盘.pdf

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本发明涉及晶圆工艺设备领域，公开了一种防循环液泄漏的静电吸附盘，即在底面循环液通口处嵌装有嵌入式板状阀体、阀片和阀片推进控制器，可在移除静电吸附盘前，通过所述阀片推进控制器驱动所述阀片伸入所述循环液通孔并截止所述循环液通孔，使得在后续移除过程中残留在所述静电吸附盘内部管道中的循环液不会经过所述循环液通口滴落出来，实现防循环液泄漏的目的，最终不但可大幅度减少移除后的污物擦拭动作和移除吸附盘的所需时间，提升更换效率，还可以避免升高在设备周围空气中总挥发性有机物的浓度，减少有机物过滤器的部署成本和更换

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112736011 A (43)申请公布日 2021.04.30 (21)申请号 202110038214.8 (22)申请日 2021.01.12 (71)申请人上海谙邦半导体设备有限公司