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致动器装置(1)具备:支撑部(5);可动部(6);连结部(8),以可动部(6)能够在第二轴线(X2)周围摇动的方式在第二轴线(X2)上将可动部(6)连结于支撑部(5);第一配线(21),被设置于连结部(8)上;第二配线(31),被设置于支撑部(5)上;绝缘层(52),具有使第一配线(21)以及第二配线(31)的一方的配线中位于支撑部(5)上的第一连接部分(25)中的支撑部(5)的相反侧的表面(25a)露出的第一开口(52a)并且覆盖第一连接部分(25)的角(25b)。构成第一配线(21)的第一金
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112731652 A
(43)申请公布日 2021.04.30
(21)申请号 202011562410.7
(22)申请日 2016.12.22
(30)优先权数据
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