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本发明提供一种研磨设备及研磨方法。研磨方法包括步骤：1)提供待研磨的晶圆，将所述晶圆放置于研磨设备中进行化学机械研磨；2)对化学机械研磨时产生的废液进行采样以获得试样溶液；3)对所述试样溶液进行检测以确定所述试样溶液中待测离子的离子浓度，并根据所述离子浓度判断研磨终点。本发明通过在研磨过程中对研磨产生的废液进行采样并检测废液中的离子类型和离子浓度，依据检测到的离子浓度判断研磨终点，有助于提高研磨终点判断的准确性，提高晶圆研磨质量及晶圆回收良率，有助于降低生产成本。本发明的研磨设备结构简单、使用方
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112706071 A
(43)申请公布日
2021.04.27
(21)申请号 20191
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