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VCSEL模块检测方法及其系统.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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VCSEL模块检测方法及其系统.pdf

    本发明提供一种VCSEL模块检测方法，包括，扫描所述VCSEL模块中与第一VCSEL芯片相关的标识码，以获得所述第一VCSEL芯片的标识信息；获取所述第一VCSEL芯片在所述金相显微镜视角下的第一金相图像，以确定所述第一VCSEL芯片中各VCSEL发光单元的质量是否合格；在所述金相显微镜处于灯光闭合状态时，获取所述第一VCSEL芯片在所述金相显微镜视角下的第一近场图像，其中，以确认所述第一VCSEL芯片中各VCSEL发光单元是否存在坏点；以及响应于确定所述第一VCSEL芯片中的各VCSEL发光单

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112748109 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 20191

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