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一种硅片读取设备.pdfVIP

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  • 2023-06-05 发布于四川
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一种硅片读取设备.pdf

    本发明公开了一种硅片读取设备，包括读卡组件，读卡组件包含工作台，工作台上设有横向滑轨，横向滑轨上滑动连接横向滑块，横向滑块由横向气缸驱动左右移动，横向滑块上端面固接竖向滑轨，竖向滑轨上滑动连接竖向滑块，竖向滑块由竖向气缸驱动前后滑动，竖向滑块上端面竖直固接立杆，立杆上侧端面固接读卡探头，读卡探头接触连接在储卡组件上，储卡组件中空放置在抬起组件上端，储卡组件包括连接杆、放置壳、分隔槽和片蓝，读卡探头接触连接在片蓝上，片蓝卡接在分隔槽内，分隔槽竖直贯穿放置壳上端面，放置壳有两个，且相互对称放置，放置

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750731 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202011434435.9 (22)申请日 2020.12.10 (71)申请人 中环领先半导体材料有限公司

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